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蔵書情報

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書誌情報サマリ

書名

ＭＥＭＳのはなし　(Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ)

著者名 前田　竜太郎／編著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 ２００５．１

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態
1 県立館内304601032530/ﾏﾘ051/自然公開持ち出し可利用可 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001102147700
書名 ＭＥＭＳのはなし　(Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ)
シリーズ名 Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
著者名 前田　竜太郎／編著 池原　毅／著 小林　健／著 単　学伝／著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 ２００５．１
ページ数 １２６ｐ
大きさ １９ｃｍ
ISBN（10桁） 4-526-05404-6
分類記号 530
書名ヨミ メムス　ノ　ハナシ
内容紹介 電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。
著者紹介 〈前田竜太郎〉独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループグループ長。工学博士。
件名 マイクロマシン
言語区分 日本語



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