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蔵書情報

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書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体リソグラフィ技術　(ビギナーズブックス)

著者名 岡崎　信次／著
出版者 工業調査会
出版年月 ２００３．６

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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態
1 県立館内304290224549.7/O1/自然書庫９持ち出し可利用可 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001101325619
書名 はじめての半導体リソグラフィ技術　(ビギナーズブックス)
シリーズ名 ビギナーズブックス
著者名 岡崎　信次／著 鈴木　章義／著 上野　巧／著
出版者 工業調査会
出版年月 ２００３．６
ページ数 ３０５ｐ
大きさ ２１ｃｍ
ISBN（10桁） 4-7693-1224-5
分類記号 549.7
書名ヨミ ハジメテ　ノ　ハンドウタイ　リソグラフィ　ギジュツ
内容紹介 光、電子線、Ｘ線・ＥＵＶなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる。変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説した入門書。
件名 リソグラフィー 半導体
言語区分 日本語



目次


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